微米級(jí)線寬的紫外曝光，需要使用涂膠機(jī)、烘膠臺(tái)、光刻機(jī)和顯微鏡等設(shè)備進(jìn)行配套工藝操作。講座將概述在整個(gè)工藝流程中常見(jiàn)的工藝問(wèn)題和現(xiàn)象，為在工藝實(shí)驗(yàn)前規(guī)避這些問(wèn)題，提高實(shí)驗(yàn)效率縮短實(shí)驗(yàn)時(shí)間，提供一些方法、技巧、啟示。